薄板元件的低应变上盘装置及其方法
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摘要
本发明提供一种薄板元件的低应变上盘装置及其方法。薄板元件的低应变上盘装置，移动溜板设置在第四导轨的丝杆上，出胶阀安装在移动溜板上，通过第三电机带动丝杆旋转使移动溜板沿着第四导轨在Z方向上下移动，第四导轨还设置在第三导轨的丝杆上，通过第二电机带动丝杆旋转使第四导轨沿着第三导轨在Y方向移动，第三导轨设置在第一导轨的丝杆上和第二导轨上，通过第一电机带动丝杆旋转使第三导轨沿着第一导轨和第二导轨在X方向移动。本发明通过多点柔性支撑构建元件‑胶点‑背板三位一体的半刚性系统，将弱刚性的薄板元件的抛光转换为刚性元件的加工，可有效抑制元件加工过程中的装夹变形，在保证加工效率的同时提高面形精度。
基本信息
专利标题 ：
薄板元件的低应变上盘装置及其方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112916314A
申请号 ：
CN202110083443.1
公开（公告）日 ：
2021-06-08
申请日 ：
2021-01-21
授权号 ：
CN112916314B
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
赵世杰张明壮谢瑞清李海波廖德锋田亮张清华李洁郑楠王健许乔
申请人 ：
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请人地址 ：
四川省绵阳市绵山路64号
代理机构 ：
成都希盛知识产权代理有限公司
代理人 ：
蒲敏
优先权 ：
CN202110083443.1
主分类号 ：
B05C5/02
IPC分类号 ：
B05C5/02 B05C9/14 B05C13/02
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C5/00
将液体或其他流体物质喷射，灌注或让其流到工件表面的装置
B05C5/02
液体从与工件接触的或几乎接触的一个出口中出来
法律状态
2022-05-10 ：
授权
2021-06-25 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B05C 5/02
申请日 : 20210121
申请日 : 20210121
2021-06-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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