微裂纹应变传感元件及其制备方法和应用
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摘要

本发明公开了微裂纹应变传感元件及其制备方法和应用。所述微裂纹应变传感元件包括:基底层、金属薄膜、保护层、输出电极、封装层;所述金属薄膜设于基底层上,所述金属薄膜由两种金属材料沉积而成,所述金属薄膜设有图案化裂纹结构;所述保护层设于金属薄膜上;所述输出电极连接于金属薄膜,用于输出电信号;所述封装层设于保护层上。本发明的微裂纹应变传感元件制备方法相较现有裂纹制备技术具有更高精度的裂纹可控性且不会影响裂纹的使用寿命,以及更优化的实际操作难度;微裂纹的应变传感元件的高灵敏度、可穿戴性、小型化等特点可在医学领域中得到广泛的应用。

基本信息
专利标题 :
微裂纹应变传感元件及其制备方法和应用
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113310395A
申请号 :
CN202110578601.0
公开(公告)日 :
2021-08-27
申请日 :
2021-05-26
授权号 :
CN113310395B
授权日 :
2022-06-14
发明人 :
王倩杨智航陈慧归悦承王可军樊成张雷
申请人 :
苏州大学
申请人地址 :
江苏省苏州市吴中区石湖西路188号
代理机构 :
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
殷海霞
优先权 :
CN202110578601.0
主分类号 :
G01B7/16
IPC分类号 :
G01B7/16  A61B5/00  A61B5/08  A61B5/024  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B7/00
以采用电或磁的方法为特征的计量设备
G01B7/16
用于计量固体的变形,例如电阻应变仪
法律状态
2022-06-14 :
授权
2021-09-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 7/16
申请日 : 20210526
2021-08-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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