石墨烯应变传感器及石墨烯应变传感器的制备方法
实质审查的生效
摘要
本申请公开了石墨烯应变传感器及石墨烯应变传感器的制备方法,该石墨烯应变传感器中的导电层包括由两个或者两个以上多层石墨烯单元形成的堆叠结构。该石墨烯应变传感器中的多层石墨烯单元通过常压化学气相沉积法制备,并利用蚀刻液除去多层石墨烯单元的生长衬底,得到自支撑多层石墨烯单元;将自支撑多层石墨烯单元转移至另一搭载有多层石墨烯单元的生长衬底,如此循环,可以得到两个或两个以上多层石墨烯单元形成的堆叠结构,作为石墨烯应变传感器的导电层。本申请提供的石墨烯应变传感器既具有较宽的检测范围,又具有较高的灵敏度。
基本信息
专利标题 :
石墨烯应变传感器及石墨烯应变传感器的制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114459336A
申请号 :
CN202210213164.7
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2022-03-04
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李红变冯吉勇李玮琛
申请人 :
广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院
申请人地址 :
广东省广州市黄埔区开源大道136号D栋201室
代理机构 :
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 :
彭东威
优先权 :
CN202210213164.7
主分类号 :
G01B7/16
IPC分类号 :
G01B7/16 C01B32/186
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B7/00
以采用电或磁的方法为特征的计量设备
G01B7/16
用于计量固体的变形,例如电阻应变仪
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 7/16
申请日 : 20220304
申请日 : 20220304
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载