本发明公开了一种基于交流阻抗的半导体气体传感器测量方法，方法中，并联半导体气体传感器与电容，交流阻抗测量设备连接半导体气体传感器与电容，在第一预定范围的测量频率和第二预定范围的并联电容值下进行测量参数的组合，在每一个组合的情形下，对于上述9种特征量中的每一个特征量，均对已知浓度的气体进行测量；遍历完所有参数组合以及所有的9种特征量，就得到同一气体浓度在每种特征量情形下、所对应的多个特征值；选择第三范围的测量频率、第四范围的并联电容值以及所述对应的某一种或某几种特征量，作为最终选择的测量未知气体浓度的测量参数。