气体操作头和晶片吸附装置
实质审查的生效
摘要

本发明涉及半导体设备技术领域,公开了一种气体操作头和晶片吸附装置。其中,气体操作头包括:操作头主体、操作头基座、密封盖板、以及发光件。操作头主体为内部中空的主体腔体;操作头主体的外壁上设置有凸出操作头主体外壁的操作工作面,操作工作面上设置有与主体腔体相连通的至少一个气口;操作头基座的内部设置有基座腔体,操作头基座的一个端面上设置有腔体开口;腔体开口与基座腔体相连通,基座腔体与主体腔体相连通;密封盖板可拆卸地密封固定在腔体开口上;发光件以用于照射气口。利用本发明实施例提供的气体操作头,根据发光件发出的光线穿透气口的情况,从而判断气口是否堵塞,了解气体操作头吸附晶片的情况,提高晶片吸附效率。

基本信息
专利标题 :
气体操作头和晶片吸附装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114284194A
申请号 :
CN202110170629.0
公开(公告)日 :
2022-04-05
申请日 :
2021-02-08
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
郎欣林罗会才闫静
申请人 :
深圳市丰泰工业科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区福海街道新田社区大洋路90-4号101
代理机构 :
深圳智汇远见知识产权代理有限公司
代理人 :
艾青
优先权 :
CN202110170629.0
主分类号 :
H01L21/683
IPC分类号 :
H01L21/683  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2022-04-22 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/683
申请日 : 20210208
2022-04-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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