本发明属于晶圆生产领域，具体为一种用于晶圆清洗的甩干设备，包括机体、排水槽、甩干机门、门把手、门体控制机构、甩干驱动机构，还包括晶圆片固定机构，所述晶圆片固定机构包括固定框架、泄水孔、滑槽、活动底板、滚轮、底板推杆、前挡板，所述固定框架下方内部两侧设置有所述滑槽，所述固定框架侧壁和顶部设置有所述泄水孔，所述活动底板设置在所述滑槽之间，所述滚轮设置在所述活动底板两侧。通过本发明采用的一种底板可以伸出的晶圆片固定机构，需要放置晶圆时，底板伸出，此时将晶圆托盘从上而下放到底板上，不用再伸长手臂将晶圆托盘向甩干装置内部进行放置，减少晶圆的磕碰风险，提高生产良品率。