一种石墨烯薄膜的质量检测方法
授权
摘要
本发明提供了一种石墨烯薄膜的质量检测方法，包括以下步骤：采用太赫兹矢量网络分析仪平台在近场测试环境下，测量石墨烯薄膜样品的均一性和结晶质量；其中，石墨烯薄膜样品的均一性由平移扫描测试完成，石墨烯薄膜样品的结晶质量由旋转偏振测试完成，所述的太赫兹矢量网络分析仪平台测试频段为640‑700GHz。本发明提供一种新的石墨烯薄膜质量检测方法，突破以往通过拉曼光谱和原子力显微镜进行石墨烯薄膜质量表征的局限。本发明的检测方法从理论上讲，将不仅适用于石墨烯薄膜，还有望适用于其他导电薄膜材料如二硫化钼、黑鳞等。
基本信息
专利标题 ：
一种石墨烯薄膜的质量检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112986176A
申请号 ：
CN202110175607.3
公开（公告）日 ：
2021-06-18
申请日 ：
2021-02-06
授权号 ：
CN112986176B
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
陈诚张志勇赵武闫军峰翟春雪齐晓斐郭昱希张燕妮张雄
申请人 ：
西北大学
申请人地址 ：
陕西省西安市太白北路229号
代理机构 ：
西安恒泰知识产权代理事务所
代理人 ：
王孝明
优先权 ：
CN202110175607.3
主分类号 ：
G01N21/3581
IPC分类号 ：
G01N21/3581 G01N21/3563 G01N21/84 G01N21/88 G01N21/21
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/25
颜色；光谱性质，即比较材料对两个或多个不同波长或波段的光的影响
G01N21/31
测试材料在特定元素或分子的特征波长下的相对效应，例如原子吸收光谱术
G01N21/35
利用红外光
G01N21/3581
利用远红外光；利用太赫兹辐射
法律状态
2022-04-19 ：
授权
2021-07-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/3581
申请日 : 20210206
申请日 : 20210206
2021-06-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
