本发明涉及一种用作液相纳米红外光谱的等离激元共振增强基底。具体涉及一种采用物理沉积技术在可见‑红外区透明的光学晶片表面制备大面积高度规整有序的金属结构阵列的方法及其在液相纳米红外光谱中的应用。本发明将微球自组装于容器中的气/液界面，随后沉积至可见‑红外区透明的光学晶片表面，利用物理沉积技术在光学晶片表面制备得到金属纳米薄膜材料，经移除微球薄膜，可在可见‑红外区透明的光学晶片表面获得大面积高度规整有序的金属结构阵列；基于该方案制备的增强基底，可以通过其在中红外区的等离激元共振激发，实现液相纳米尺度红外光谱的分析，检测灵敏度可以达到单分子层量级，远高于常用的全内反射棱镜增强基底，因此，可作为新型的高性能的液相纳米红外光谱基底。