一种长晶炉的冷却系统
授权
摘要
本申请公开了一种长晶炉的冷却系统,包括冷却介质通道、过滤装置、储放装置和控制单元,冷却介质通道的一端穿入长晶炉炉体,过滤装置与设于长晶炉炉体外侧的冷却介质通道连通设置,过滤装置包括的过流通道上设有过滤单元,冷却介质流经过滤单元后对长晶炉炉体内部提供冷却介质;储放装置上设有备用过滤单元;长晶炉还包括受控置换装置和监测单元,监测单元监测流入长晶炉炉体内冷却介质的流量并对控制单元提供监测信息,受控置换装置受控制单元控制,当过流通道的流量小于设定值时,受控置换装置用备用过滤单元置换过流通道上的过滤单元。本申请所公开的所述长晶炉的冷却系统具有实时监测、自动排障、确保长晶炉安全稳定工作等优点。
基本信息
专利标题 :
一种长晶炉的冷却系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112981542A
申请号 :
CN202110212579.8
公开(公告)日 :
2021-06-18
申请日 :
2021-02-25
授权号 :
CN112981542B
授权日 :
2022-04-08
发明人 :
薛传艺张长银马振华
申请人 :
山东天岳先进科技股份有限公司
申请人地址 :
山东省济南市槐荫区天岳南路99号
代理机构 :
北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
冯委
优先权 :
CN202110212579.8
主分类号 :
C30B35/00
IPC分类号 :
C30B35/00 C30B29/36
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B35/00
未包括在其他分类位置中的专门适用于单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的生长、制备或后处理的装置
法律状态
2022-04-08 :
授权
2021-07-06 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 35/00
申请日 : 20210225
申请日 : 20210225
2021-06-18 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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