多晶硅还原炉的冷却系统

授权

摘要

本实用新型公开了多晶硅还原炉的冷却系统，该系统包括：还原炉，包括钟罩和底盘，所述钟罩具有冷却水第一入口和钟罩高温水出口，所述底盘具有冷却水第二入口和底盘高温水出口，所述底盘高温水出口与所述冷却水第一入口和/或所述冷却水第二入口相连；换热装置，具有钟罩高温水入口和换热后冷却水出口，所述钟罩高温水入口与所述钟罩高温水出口相连，所述换热后冷却水出口与所述冷却水第一入口和/或所述冷却水第二入口相连。采用该系统既显著简化了现有多晶硅还原炉冷却系统的管道，又实现了对钟罩高温水和底盘高温水热量的高效、分级回收利用，同时显著降低了多晶硅还原炉冷却水的远距离循环使用量并实现多晶硅还原炉的安全稳定运行。

基本信息

专利标题：

多晶硅还原炉的冷却系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921175361.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-24

授权号：

CN210825444U

授权日：

2020-06-23

发明人：

石何武张升学杨永亮郑红梅严大洲

申请人：

中国恩菲工程技术有限公司

申请人地址：

北京市海淀区复兴路12号

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

宋合成

优先权：

CN201921175361.4

主分类号：

C01B33/035

IPC分类号：

C01B33/035