一种DMD光刻机中灰度图像数据存储方法
授权
摘要
本发明公开了一种DMD光刻机中灰度图像数据存储方法，包括：步骤1：计算机的上位机软件对灰度图像文件进行读入并解析，解析完成后以像素为单位，通过USB接口将图像数据和指令发送给USB接口芯片；步骤2：USB接口芯片将接收到的图像数据和指令发送给FPGA芯片；步骤3：FPGA芯片在接收到以像素为单位的灰度图像数据后，先将每个像素数据拆分为位平面数据，再通过移位寄存方法进行数据格式转换；步骤4：通过间隔存储方法将格式转换后的位平面数据存储于DDR2的内存中；步骤5：根据指令更新DMD显示状态；本发明使用移位寄存的方法对接收到的数据进行位操作，即可完成数据的拆分和拼接，操作简便且节省BRAM资源，同时还解决了存储大尺寸图像的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种DMD光刻机中灰度图像数据存储方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113050385A
申请号 ：
CN202110238502.8
公开（公告）日 ：
2021-06-29
申请日 ：
2021-03-04
授权号 ：
CN113050385B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
胡丹峰张林王加俊方二喜邹玮胡南
申请人 ：
苏州大学
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区济学路8号
代理机构 ：
苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陆金星
优先权 ：
CN202110238502.8
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2021-07-16 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20210304
申请日 : 20210304
2021-06-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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