本申请涉及一种基于谐波分量的电容位移检测非线性实时校准方法，包括：获取电容式位移检测电路输出的位移检测信号，基于位移频率参数得到对应的谐波分量形式。获取位移检测信号的一次谐波分量和高次谐波分量的幅值，根据幅值之间的函数关系得到对应的非线性校准系数。使用非线性校准系数去除一次谐波分量中的非线性偏移项，得到对位移检测数据的实时校准结果。本申请利用电容式位移检测电路的输出中，一次和高次谐波的分量的幅值关系仅与电容式位移检测电路本身相关的特点，对位移检测结果中的非线性偏移量进行实时标定和去除，从而实现对电容式位移检测非线性的实时校准，具有适用范围广、校准效果好、实现方式简单等特点。