柔性显示器件的制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种柔性显示器件的制备方法，包括以下步骤：将待剥离柔性显示器件置于剥离平台上，并使待剥离柔性显示器件朝向剥离平台；对待剥离柔性显示器件与载体基板之间的界面进行激光扫描处理，以在中间区受到至少两次入射方向不同的激光扫描处理，在周边区受到一次以下次数的激光扫描处理。通过该制备方法避免了载体基板表面异物颗粒及缺陷影响柔性衬底对激光能量的吸收，且能保证搬运过程中无脱落、无位移，从而有效地改善了激光剥离工艺的可靠性及良品率。
基本信息
专利标题 ：
柔性显示器件的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114496882A
申请号 ：
CN202110333555.8
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2021-03-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
高卓
申请人 ：
广东聚华印刷显示技术有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市黄埔区光谱中路11号云升科学园1号楼1F
代理机构 ：
华进联合专利商标代理有限公司
代理人 ：
戴志攀
优先权 ：
CN202110333555.8
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/683
申请日 : 20210329
申请日 : 20210329
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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