本发明涉及一种纯石英玻璃中空圆柱体的制造方法，采用外部气相沉积法沉积中空玻璃圆柱体粉棒，沉积腔体为垂直靶棒沉积方式，所述的沉积靶棒为耐高温耐氧化的陶瓷、合金或者以合金为基底外覆陶瓷层的复合沉积靶棒，沉积靶棒表面保持一定的粗糙度，所述的喷灯组件与上下前后移动的滑座相连，沉积时，上、下旋转卡盘带动沉积靶棒旋转，开启喷灯组件向沉积靶棒喷射沉积粉料并沿与沉积靶棒轴线平行的方向上下移动，开启抽风口，整根沉积靶棒被加热区域的温度差控制在350℃以内，待沉积完成冷却之后从粉末预制棒中抽出靶棒，将其烧结成透明纯二氧化硅石英玻璃中空圆柱体。本发明保证粉棒的沉积成型质量，增强了加工稳定性，并简化了工艺，降低了加工成本。