本发明涉及一种等离子体杀菌装置、杀菌气体的制备方法及杀菌方法，包括滑动弧放电反应器，气流循环装置和密封腔体；气流循环装置包括进气端，出气端和风扇；进气端与出气端分别与密封腔体连通，气流循环装置与密封腔体之间通过进气端和出气端构成密封连通；滑动弧放电反应器包括电源和两个电极；电源与电极相连；出气端为绝缘耐高温管，或连接绝缘耐高温管，电极设置在绝缘耐高温管内；电极区域在气流循环装置作用下吹出等离子体滑动弧。本发明结构简单，空间内的气体在绝缘耐高温管内循环流动并多次形成滑动弧放电，使得密封空间内部的等离子体气体的杀菌活性和时效性提高，并且具有短暂的稳定性，是一种绿色、环保、无残留的杀菌方法。