一种出射相干光的VCSEL阵列芯片
授权
摘要
本发明公开了一种出射相干光的VCSEL阵列芯片，属于激光器技术领域，包括VCSEL激光芯片，VCSEL激光芯片包括衬底层、第一反射镜以及激光发射单元阵列；与VCSEL激光芯片间隔设置的等离子体辐射层，且在等离子体辐射层一面上刻画有与激光发射单元阵列相对应的等离子体辐射栅，另一面设有反射层；第一激光发射单元垂直向等离子辐射层发射激光，使得等离子体辐射栅的自由电子发生集体振荡，激发出表面等离激元，表面等离激元在等离子体辐射栅和等离子体辐射层之间振荡传播，表面等离激元在反射层的作用下，以倏逝波形式垂直于等离子体辐射层表面方向传播，并激发第二激光发射单元发光，发出相干光。
基本信息
专利标题 ：
一种出射相干光的VCSEL阵列芯片
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113258438A
申请号 ：
CN202110546169.7
公开（公告）日 ：
2021-08-13
申请日 ：
2021-05-19
授权号 ：
CN113258438B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
李冲张琛辉李占杰杨帅李巍泽
申请人 ：
北京工业大学
申请人地址 ：
北京市朝阳区平乐园100号
代理机构 ：
北京汇信合知识产权代理有限公司
代理人 ：
林聪源
优先权 ：
CN202110546169.7
主分类号 ：
H01S5/10
IPC分类号 ：
H01S5/10 H01S5/183 H01S5/42 G02B5/00
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2021-08-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01S 5/10
申请日 : 20210519
申请日 : 20210519
2021-08-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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