一种适用于宽膜厚范围样品的激光超声测量系统及方法
授权
摘要
本发明属于激光超声检测相关技术领域,并具体公开了一种适用于宽膜厚范围样品的激光超声测量系统及方法。该系统包括脉冲激光器、泵浦探测单元、脉宽调整器、探测器和工控机,其中:泵浦探测单元中的分束器将脉冲激光分为激发光光束和探测光光束;激发光经过脉宽调整器照射在待测样品表面并激发出超声信号,在样品中传播产生回声信号;与激发光存在延时的探测光自样品反射后被探测器接收;工控机接收探测器转换的电信号并提取回声信号,当该回声信号的强度小于预设阈值时,调整脉宽调整器为脉冲展宽状态;当该回声信号的强度大于或等于预设阈值时,保持脉宽调整器为压缩状态。通过本发明,增大激光超声测量技术所适用的样品的膜厚范围。
基本信息
专利标题 :
一种适用于宽膜厚范围样品的激光超声测量系统及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113281265A
申请号 :
CN202110601198.9
公开(公告)日 :
2021-08-20
申请日 :
2021-05-31
授权号 :
CN113281265B
授权日 :
2022-05-20
发明人 :
闵菁汤自荣刘世元陈修国李仲禹王中昱胡静王则涵
申请人 :
华中科技大学;上海精测半导体技术有限公司
申请人地址 :
湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
代理机构 :
华中科技大学专利中心
代理人 :
尚威
优先权 :
CN202110601198.9
主分类号 :
G01N21/17
IPC分类号 :
G01N21/17 G01N21/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
法律状态
2022-05-20 :
授权
2021-09-07 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/17
申请日 : 20210531
申请日 : 20210531
2021-08-20 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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