一种基于平面衍射光栅的高度测试传感系统
授权
摘要
本申请属于机械测试领域,具体涉及一种基于平面衍射光栅的高度测试传感系统。包括检测光源、光谱仪、准直镜、反射镜、变周期平面衍射光栅以及高度调整架,所述检测光源及光谱仪共同通过双芯光纤与准直镜连接,所述准直镜的出射方向设置有反射镜,所述反射镜的反射面与所述准直镜的出射方向成60°‑70°设置,所述反射镜下方设置有用于接收反射光的变周期平面衍射光栅,所述变周期平面衍射光栅水平设置于高度调整架上端。本申请借助变周期平面衍射光栅的衍射特性,实现对高度的测量,不仅结构简单,而且灵敏度高、线性度好,抗电磁干扰能力强。
基本信息
专利标题 :
一种基于平面衍射光栅的高度测试传感系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113280742A
申请号 :
CN202110621382.X
公开(公告)日 :
2021-08-20
申请日 :
2021-06-03
授权号 :
CN113280742B
授权日 :
2022-06-10
发明人 :
魏巍秦高林李权才李冰段俊法
申请人 :
华北水利水电大学
申请人地址 :
河南省郑州市北环路36号
代理机构 :
北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
龙涛
优先权 :
CN202110621382.X
主分类号 :
G01B11/06
IPC分类号 :
G01B11/06 G02B5/08 G02B7/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2022-06-10 :
授权
2021-09-07 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/06
申请日 : 20210603
申请日 : 20210603
2021-08-20 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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