基于硼酸锌单晶的声表面波器件及该硼酸锌单晶的用途
授权
摘要
本发明公开了一种声表面波器件，包括压电衬底、制作在压电衬底表面的金属电极，所述的压电衬底为硼酸锌单晶基片。该声表面波器件相比较以石英晶体作为衬底的声表面波器件而言，具有更高的频率，更高的应用温度范围，以及更高的稳定性，可以解决当下常规压电晶体无法满足高温等复杂环境下的高频声表面波器件需求的问题。本发明还公开了一种硼酸锌单晶在制备声表面波器件中的用途。
基本信息
专利标题 ：
基于硼酸锌单晶的声表面波器件及该硼酸锌单晶的用途
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113346858A
申请号 ：
CN202110676300.1
公开（公告）日 ：
2021-09-03
申请日 ：
2021-06-18
授权号 ：
CN113346858B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
林哲帅姜兴兴
申请人 ：
中国科学院理化技术研究所
申请人地址 ：
北京市海淀区中关村东路29号
代理机构 ：
北京正理专利代理有限公司
代理人 ：
邹欢
优先权 ：
CN202110676300.1
主分类号 ：
H03H3/10
IPC分类号 ：
H03H3/10 H03H9/02 H03H9/145
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2021-09-21 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 3/10
申请日 : 20210618
申请日 : 20210618
2021-09-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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