一种结构涂层及其制备方法和应用
授权
摘要

本发明涉及涂层电阻材料技术领域,尤其涉及一种结构涂层及其制备方法和应用。本发明提供的结构涂层,包括在基底表面依次层叠设置的钛过渡层和铂铪复合结构层;所述铂铪复合结构层的层数≥3;所述铂铪复合结构层包括依次层叠设置的铪层和铂层。本发明利用铪较高的熔点和较低的电阻率,通过在钛过渡层和铂层之间设置铪层,作为铂层的复合相,有效的提高了结构涂层在受热过程中的再结晶温度,抑制了高温下钛过渡层向金属电阻层(铂层)的扩散问题;通过设置所述铂铪复合结构层的层数≥3,增加了界面强化效应,最终得到一种具备高热稳定性的结构涂层。

基本信息
专利标题 :
一种结构涂层及其制备方法和应用
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113774330A
申请号 :
CN202110689754.2
公开(公告)日 :
2021-12-10
申请日 :
2021-06-22
授权号 :
CN113774330B
授权日 :
2022-06-03
发明人 :
王鹏乔丽张弘白小刚
申请人 :
中国科学院兰州化学物理研究所
申请人地址 :
甘肃省兰州市城关区天水中路18号
代理机构 :
北京高沃律师事务所
代理人 :
马丛
优先权 :
CN202110689754.2
主分类号 :
C23C14/18
IPC分类号 :
C23C14/18  C23C14/35  C23C14/58  C23C14/02  H05B3/00  H05B3/02  H05B3/12  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
C23C14/14
金属材料、硼或硅
C23C14/18
在其他无机物基体上
法律状态
2022-06-03 :
授权
2021-12-28 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/18
申请日 : 20210622
2021-12-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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