基于SOI埋氧层牺牲释放技术的电容式微机械超声换能器及其...
授权
摘要
本发明为一种基于SOI埋氧层牺牲释放技术的电容式微机械超声换能器及其制备方法，属于MEMS技术领域。该换能器包括圆形的SOI片，SOI片的正面沉积有金属上电极、背面沉积有金属下电极，SOI片的器件层和埋氧层部分设有SiC边缘支撑，SOI片的埋氧层上设有密封真空电容腔，SOI片正面的金属上电极上沉积有Parylene‑C密封层。本发明换能器的空腔结构形状规则，空腔边缘和高度均匀可控，其具有尺寸小、功耗低以及与周围介质具有固有的阻抗匹配等优点，通过沉积Parylene‑C封装起到防水的作用且具有较好的透声能力。
基本信息
专利标题 ：
基于SOI埋氧层牺牲释放技术的电容式微机械超声换能器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113731779A
申请号 ：
CN202110868102.5
公开（公告）日 ：
2021-12-03
申请日 ：
2021-07-30
授权号 ：
CN113731779B
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
王任鑫张文栋王智豪秦芸张国军何常德王红亮杨玉华崔建功
申请人 ：
中北大学
申请人地址 ：
山西省太原市尖草坪区学院路3号
代理机构 ：
太原倍智知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张宏
优先权 ：
CN202110868102.5
主分类号 ：
B06B1/02
IPC分类号 ：
B06B1/02 B81C1/00 B81B7/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B06
一般机械振动的发生或传递
B06B
一般的机械振动的发生或传递（其特殊物理或机械方法见有关小类，如B07B1/40，B22C19/06，B23Q17/12，B24B31/06，E01C19/22；机械振动的测量，包括发生与测量的结合入G01H；利用声波反射或再辐射的系统入G01S15/00；勘探用地震能的产生入G01V1/02；机械振动的控制入G05D19/00；声音发送、传导或定向的一般方法或装置入G10K11/00；声波的合成入G10K15/02；压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件入H01L41/00；有振动磁体、电枢或线圈的电动机入
B06B1/00
产生亚声频、声频或超声频的机械振动的过程或设备
B06B1/02
利用电能
法律状态
2022-06-10 ：
授权
2021-12-21 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B06B 1/02
申请日 : 20210730
申请日 : 20210730
2021-12-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
