电容式微机械超声换能器及其制作方法
授权
摘要
本发明公开一种电容式微机械超声换能器及其制作方法，涉及超声换能器技术领域。其中，电容式微机械超声换能器包括依次设置的金属振动薄膜、空腔支撑层、粘合层、绝缘层以及金属基底；所述空腔支撑层中形成若干个空腔；所述金属振动薄膜蚀刻有分割阵列沟槽，所述分割阵列沟槽蚀刻至所述空腔支撑层。本申请能够实现超声换能器的柔性化设计，结构简单且成本低。
基本信息
专利标题 ：
电容式微机械超声换能器及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114367430A
申请号 ：
CN202111540235.6
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2021-12-16
授权号 ：
CN114367430B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
郑庆祥李英拓金积德王泽霖杨婷婷
申请人 ：
武汉理工大学
申请人地址 ：
湖北省武汉市珞狮路122号
代理机构 ：
广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人 ：
黎扬鹏
优先权 ：
CN202111540235.6
主分类号 ：
B06B1/02
IPC分类号 ：
B06B1/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B06
一般机械振动的发生或传递
B06B
一般的机械振动的发生或传递（其特殊物理或机械方法见有关小类，如B07B1/40，B22C19/06，B23Q17/12，B24B31/06，E01C19/22；机械振动的测量，包括发生与测量的结合入G01H；利用声波反射或再辐射的系统入G01S15/00；勘探用地震能的产生入G01V1/02；机械振动的控制入G05D19/00；声音发送、传导或定向的一般方法或装置入G10K11/00；声波的合成入G10K15/02；压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件入H01L41/00；有振动磁体、电枢或线圈的电动机入
B06B1/00
产生亚声频、声频或超声频的机械振动的过程或设备
B06B1/02
利用电能
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2022-05-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B06B 1/02
申请日 : 20211216
申请日 : 20211216
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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