OHT车辆牵引装置以及利用其的OHT系统运转方法
实质审查的生效
摘要

本发明涉及OHT车辆牵引装置以及利用其的OHT系统运转方法,提出针对在OHT系统的运行线路上产生问题的运行错误车辆解决问题或用于牵引其的OHT车辆牵引装置,公开用于通过利用所述OHT车辆牵引装置针对运行错误车辆自动解决问题或牵引其而提高OHT系统的整体运转效率的OHT系统运转方法。

基本信息
专利标题 :
OHT车辆牵引装置以及利用其的OHT系统运转方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114388411A
申请号 :
CN202110884300.0
公开(公告)日 :
2022-04-22
申请日 :
2021-08-03
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
尹基燮郑智允
申请人 :
细美事有限公司
申请人地址 :
韩国忠清南道
代理机构 :
北京钲霖知识产权代理有限公司
代理人 :
李英艳
优先权 :
CN202110884300.0
主分类号 :
H01L21/677
IPC分类号 :
H01L21/677  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的,例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-05-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/677
申请日 : 20210803
2022-04-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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