本发明提供一种工件研磨装置和工件研磨装置中的加压盘用树脂垫体，其中，树脂垫对顶环(加压盘)的接合良好、能够获得适当的对载盘的压力分布。本发明的工件研磨装置具备：定盘；和顶环，其配置于定盘的上方，在与定盘之间夹着在下表面保持有工件的载盘，并将工件向定盘面按压。顶环具备：加压盘，其按压载盘的上表面；按压机构，其利用空气压按压加压盘；顶环主体，其具备围绕加压盘并按压载盘的周边部的环状部。加压盘形成为除了载盘的周边部以外对载盘的上表面整面进行按压的尺寸；按压机构具有对加压盘的上表面中央部进行局部按压的活塞；在加压盘的下表面整面粘贴有厚度为1～4mm、压缩率为1～8％、具有弹性的树脂垫。