本实用新型提供工件研磨装置以及工件研磨装置中的加压盘用树脂垫体，垫向加压盘的粘接性良好，隔着该垫按压载盘，由此，得到适当的压力分布，在按压后能够容易地将该垫从载盘剥离。工件研磨装置具有在与定盘之间夹着在下表面保持有工件的载盘而配置的顶环，其中，顶环具有按压载盘的上表面的加压盘和按压加压盘的按压机构以及按压载盘的周缘部的环状部，加压盘形成为按压除了载盘的除周缘部以外的上表面整面的大小，按压机构具有局部按压加压盘的上表面中央部的活塞，在加压盘的下表面整面粘贴有具有弹性的树脂垫，树脂垫中的按压载盘的一侧的面形成为平坦面且形成有一个或多个直线状或曲线状的槽。