工件盘镀膜装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种工件盘镀膜装置，包括：真空室，所述真空室的底部安装有蒸发源和/或溅射源；公转传动件，设置于所述真空室内，并与设置于所述真空室外的公转电机传动连接；自转电机，设置于所述真空室外，所述自转电机的自转传动轴与所述真空室之间设置有旋转轴封；转接传动组件，所述转接传动组件与所述自转电机通过所述自转传动轴传动连接，且随所述公转传动件绕所述公转电机的轴线公转。自转电机设置于真空室外，并采用转接传动组件带动基片自转，自转电机与外界大气相连，使得自转电机可以采用非真空电机的形式，使用普通电机即可，从而降低了设备成本，延长了电机的使用寿命，保证了镀膜质量。
基本信息
专利标题 ：
工件盘镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021977262.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-11
授权号 ：
CN213507177U
授权日 ：
2021-06-22
发明人 ：
刘亮闫海涛
申请人 ：
布勒莱宝光学设备（北京）有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区永昌南路2号5号楼
代理机构 ：
北京锺维联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
安娜
优先权 ：
CN202021977262.0
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-06-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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