镀膜工件承载装置和滚筒式镀膜机
公开
摘要
本发明提供了一种镀膜工件承载装置和滚筒式镀膜机。该镀膜工件承载装置包括挂板和电磁感应部件，挂板上具有导电区，电磁感应部件包括用于产生感应电动势的导体，导电区电连接于导体；挂板在横向上具有中轴部和位于中轴部两侧的边缘部，自中轴部至边缘部，导电区在纵向上的长度逐渐减小。该镀膜工件承载装置能够形成从挂板的中轴部至边缘部面积逐渐减小的渐变电场，渐变电场能够对膜层的厚度起到补偿的作用，越靠近挂板中间的部位得到的沉积补偿越多进而使得沉积的膜层更为均匀。
基本信息
专利标题 ：
镀膜工件承载装置和滚筒式镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114606472A
申请号 ：
CN202210047648.9
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-01-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杨鹏
申请人 ：
万津实业（赤壁）有限公司
申请人地址 ：
湖北省咸宁市赤壁市中伙光谷产业园纵5路
代理机构 ：
华进联合专利商标代理有限公司
代理人 ：
王南杰
优先权 ：
CN202210047648.9
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
