镀膜装置以及镀膜方法
实质审查的生效
摘要
本公开实施例公开了一种镀膜装置以及镀膜方法。该装置包括：镀膜材料发生装置，所述镀膜材料发生装置被构造为用于产生镀膜材料；承载装置，所述镀膜材料发生装置与所述承载装置相对，所述承载装置被构造为用于承载待镀膜件；遮挡部，所述遮挡部位于所述承载装置与所述镀膜材料发生装置之间；以及移动装置，所述移动装置被构造为用于移动所述遮挡部，以使所述遮挡部能够遮挡待镀膜件的不同部位。
基本信息
专利标题 ：
镀膜装置以及镀膜方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114262876A
申请号 ：
CN202111436450.1
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2021-11-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张文强时浩然饶轶
申请人 ：
歌尔股份有限公司
申请人地址 ：
山东省潍坊市高新技术产业开发区东方路268号
代理机构 ：
北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
王永亮
优先权 ：
CN202111436450.1
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/56 C23C14/04 C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/50
申请日 : 20211129
申请日 : 20211129
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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