柔性基材镀膜装置以及镀膜方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种柔性基材镀膜装置以及镀膜方法。该柔性基材镀膜装置包括真空室、隔板、放卷辊、加热件、镀膜辊、施镀件以及收卷辊，隔板位于真空室内以用于将真空室分隔为加热室和镀膜室；隔板上设有第一通孔和第二通孔，第一通孔用于供基材自加热室传输至镀膜室，第二通孔用于供基材自镀膜室传输至加热室。放卷辊、加热件以及收卷辊位于加热室，放卷辊用于对基材放卷，加热件用于加热加热室内的基材，收卷辊用于对基材收卷。镀膜辊和施镀件位于镀膜室，施镀件靠近镀膜辊以用于对镀膜辊表面的基材施镀，进而在基材表面形成薄膜镀层。使用该装置可以提高基材表面薄膜镀层附着力、致密性、厚度的均匀性。
基本信息
专利标题 ：
柔性基材镀膜装置以及镀膜方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114411111A
申请号 ：
CN202210192537.7
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2022-02-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
程毅周高阳李学法张国平
申请人 ：
江阴纳力新材料科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市江阴市璜土镇石庄华滨路26号
代理机构 ：
华进联合专利商标代理有限公司
代理人 ：
胡哲
优先权 ：
CN202210192537.7
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C14/54 C23C14/58
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/56
申请日 : 20220228
申请日 : 20220228
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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