一种柔性基材双面磁控溅射卷绕镀膜机
授权
摘要
本实用新型公开了一种柔性基材双面磁控溅射卷绕镀膜机，包括第一固定块和第二固定块，所述第一固定块和第二固定块之间设置有吸附式除气机构；所述吸附式除气机构包括第一固定盘、第二固定盘、涡轮叶片、轴承和电热管；所述第一固定块后侧贴合有第一固定盘，所述第一固定盘后侧一圈均固定连接有涡轮叶片的一端，所述涡轮叶片的另一端固定连接有第二固定盘。本实用新型通过固定盘上的涡轮叶片和电热管，可以在电热管加热的过程中，主动式的利用涡轮叶片抽取外部空气，利用电热管主动式的进行除气，提升了除气的效率，有利于更为实用的使用一种柔性基材双面磁控溅射卷绕镀膜机。
基本信息
专利标题 ：
一种柔性基材双面磁控溅射卷绕镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921502299.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-10
授权号 ：
CN211036095U
授权日 ：
2020-07-17
发明人 ：
林壁鹏
申请人 ：
深圳市西陆光电技术有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区坂田街道江灏（坂田）工业厂区6号厂房第1-3层
代理机构 ：
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
代理人 ：
任娜娜
优先权 ：
CN201921502299.5
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2020-07-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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