一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置
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摘要

一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置,包括纤维丝线、真空腔体、升降台及靶材支座,所述真空腔体内部在位于靶材支座一侧的位置处设有放卷装置,另一侧的位置处设有收卷装置,所述真空腔体内部在靠近放卷装置位置设有左丝架,真空腔体内部在靠近收卷装置位置设有右丝架,所述纤维丝线从放卷装置放出后在左丝架及右丝架之间进行展开后由收卷装置进行收卷。本实用新型的有益效果是:该装置设计结构简单合理,使用方便,应用本装置为纤维线进行磁控溅射镀膜,纤维丝线在滑轮之间绕动,纤维丝线有效镀膜的行程增加,使得纤维丝线的表面得到充分镀膜,保证了纤维镀膜的全面性与均匀性,也保证了镀膜的效率。

基本信息
专利标题 :
一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922161541.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-05
授权号 :
CN211772356U
授权日 :
2020-10-27
发明人 :
马毅谢续友黄先伟俞越翎张泰华
申请人 :
浙江工业大学
申请人地址 :
浙江省杭州市下城区朝晖六区
代理机构 :
杭州浙科专利事务所(普通合伙)
代理人 :
周红芳
优先权 :
CN201922161541.3
主分类号 :
D06M11/83
IPC分类号 :
D06M11/83  C23C14/56  C23C14/35  
IPC结构图谱
D
D部——纺织;造纸
D06
织物等的处理;洗涤;其他类不包括的柔性材料
D06M
对纤维、纱、线、织物、羽毛或由这些材料制成的纤维制品进行D06类内其他类目所不包括的处理
D06M11/00
用无机物或其配合物处理纤维、纱、线、织物或这些材料制成的纤维制品;同机械处理相结合的处理,如丝光
D06M11/83
用金属,用产生金属的化合物,如羧基金属;在纺织品上还原的金属化合物
法律状态
2020-10-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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