一种磁控溅射卷绕镀膜设备的防镀膜偏移装置
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种磁控溅射卷绕镀膜设备的防镀膜偏移装置,涉及防镀膜偏移技术领域,用于解决现有技术中卷膜式镀膜设备对带状材料进行镀膜时,带状材料会出现偏移的现象,从而极大的影响了带状材料镀膜质量的问题,本发明包括第一支架和控制器,所述第一支架上安装有旋转机构,所述旋转机构上安装有第二支架,所述第二支架上安装有滚筒组件,所述第二支架的两端还均安装有光栅,所述光栅、旋转机构均与控制器电性连接。本发明通过光栅检测带状材料的偏转角度,再将偏转角度反馈给旋转机构,旋转机构再通过光栅反馈的数据做出相应的转动,最终将带状材料旋转到合适的角度,从而可以减少带状材料的偏移现象,进而可以极大提高带状材料的镀膜质量。

基本信息
专利标题 :
一种磁控溅射卷绕镀膜设备的防镀膜偏移装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114411109A
申请号 :
CN202111577656.6
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2021-12-21
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
吕敏孙辉何吉刚彭宏雷梁
申请人 :
成都中科唯实仪器有限责任公司
申请人地址 :
四川省成都市高新区科园南一路七号
代理机构 :
成都弘毅天承知识产权代理有限公司
代理人 :
陈仕超
优先权 :
CN202111577656.6
主分类号 :
C23C14/56
IPC分类号 :
C23C14/56  C23C14/35  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备;维持真空的装置,例如真空锁定器
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/56
申请日 : 20211221
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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