磁控溅射卷绕镀膜机阴极固定改进结构

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种磁控溅射卷绕镀膜机阴极固定改进结构，包括屏蔽罩、磁铁和靶材，磁铁与屏蔽罩通过若干个带滚牙螺帽紧固固定，带滚牙螺帽从屏蔽罩底部向上打入并延伸至磁铁中部，带滚牙螺帽外部设有滚牙、内部设有内螺纹，靶材设于屏蔽罩内且位于磁铁上，靶材与磁铁通过若干个紧固螺杆固定，紧固螺杆数量与带滚牙螺帽一致，紧固螺杆从靶材顶部向下拧入并延伸至带滚牙螺帽内，紧固螺杆底部的外螺纹与带滚牙螺帽内部的内螺纹完全匹配；屏蔽罩与磁铁通过带滚牙螺帽紧固，滚牙产生较大摩擦力拆卸更换时屏蔽罩不易松动脱落，无需全部拆下，更换简单效率高，省时省力，劳动强度小人工成本低，不易碰伤砸伤安全隐患小。

基本信息

专利标题：

磁控溅射卷绕镀膜机阴极固定改进结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920945719.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-22

授权号：

CN210176942U

授权日：

2020-03-24

发明人：

丁磊李晓哲

申请人：

厦门玉通光电有限公司

申请人地址：

福建省厦门市海沧区新阳街道阳光路10号生产车间二一楼之一

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201920945719.0

主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/35