一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机
授权
摘要
本实用新型公开了一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，其包括镀膜室和用于支承镀膜室的机架，镀膜室内围绕水平的冷却辊周围对称设置有轴线平行于冷却辊的多组孪生靶，多组孪生靶的同一端分别穿过镀膜室侧壁所开的对应孔后支承在同一固定板上、另一端则各自间接地吊在或支承在平行于孪生靶轴的炉体内轨道上，固定板的下端两侧设置有轨道轮组件，轨道轮组件滑动支承在镀膜室外的机架的轨道上。本实用新型在需要对阴极靶进行保养维修的时候，可把所有的阴极靶组拉出镀膜室，然后分别启动各个阴极靶组对应的旋转电机，把相应的阴极靶转动到合适方位上检修。与现有的镀膜机相比，检修方便，提高了工效，省时省工省力。
基本信息
专利标题 ：
一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202120329123.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-02-05
授权号 ：
CN216303975U
授权日 ：
2022-04-15
发明人 ：
李志方陸创程魏艳玲
申请人 ：
广东汇成真空科技股份有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市大岭山镇颜屋龙园路2号
代理机构 ：
广州知友专利商标代理有限公司
代理人 ：
周克佑
优先权 ：
CN202120329123.5
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2022-04-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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