一种镀膜机阴极结构

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摘要

本实用新型公开了一种镀膜机阴极结构，其安装于镀膜箱的一侧，镀膜箱内用于放置工件，镀膜机阴极结构包括：容置箱，容置箱的一侧与所述镀膜箱连通；靶管，靶管转动内置于所述容置箱；套筒，套筒的外周面开设有一与其内腔连通的缺口；第一驱动机构，可驱动靶管相对容置箱转动；第二驱动机构，可驱动套筒相对靶管转动，阴极棒刚开始通电到达到稳态的过程中，第二驱动机构驱动套筒转动，并使缺口背离容置箱与镀膜箱连通的一侧，当阴极棒放电达到稳态后，第二驱动机构再次驱动所述套筒转动，并使缺口朝向容置箱与镀膜箱连通的一侧，并且第一驱动机构可以驱动靶管持续转动，从而保证靶管的周向各个位置材料均能从缺口释放出来，进一步提高镀膜效果。

基本信息

专利标题：

一种镀膜机阴极结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022030180.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-16

授权号：

CN213388866U

授权日：

2021-06-08

发明人：

郭爱云朱选敏

申请人：

武汉科瑞达真空科技有限公司

申请人地址：

湖北省武汉市东湖高新技术开发区高新大道666号武汉国家生物产业基地项目B、C、D区研发楼B1栋

代理机构：

武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

方菲

优先权：

CN202022030180.1

主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/24