一种卷绕式镀膜机
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摘要

本实用新型公开了一种卷绕式镀膜机,包括蒸镀室、设在蒸镀室一侧的卷绕装置、分别与蒸镀室连通的第一扩散泵和第二扩散泵,蒸镀室包括上腔室、与上腔室连通的下腔室,下腔室内设有固态银,下腔室内还设有感应加热器,第一扩散泵与蒸镀室上腔室连通,第二扩散泵与蒸镀室下腔室连通,蒸镀室与卷绕装置相邻的侧面设有供卷绕装置进出的开口。实用新型的第一扩散泵与蒸镀室上腔室连通,第二扩散泵与蒸镀室下腔室连通,从而增加了蒸镀室内的真空度,现有传统镀银膜技术中蒸镀室的真空度一般仅能达到10‑4Pa,而本实用新型的卷绕式镀膜机的蒸镀室可以达到3×10‑3Pa,从而降低了蒸镀室内气体杂质,从而提升了银膜的纯度。

基本信息
专利标题 :
一种卷绕式镀膜机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020694146.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-29
授权号 :
CN212426172U
授权日 :
2021-01-29
发明人 :
李成华
申请人 :
义乌市森煌科技有限公司
申请人地址 :
浙江省金华市义乌市廿三里街道丁店村8号1楼
代理机构 :
北京中济纬天专利代理有限公司
代理人 :
陈辉
优先权 :
CN202020694146.1
主分类号 :
C23C14/56
IPC分类号 :
C23C14/56  C23C14/24  C23C14/14  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备;维持真空的装置,例如真空锁定器
法律状态
2021-01-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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