一种宽幅薄膜高真空卷绕镀膜机
授权
摘要
本实用新型公开了一种宽幅薄膜高真空卷绕镀膜机，包括工作箱、设于所述工作箱侧壁上的放卷装置、设于所述工作箱侧壁上的收卷装置、冷却装置、展平装置、用于驱动靶材移动的移动装置、用于固定靶材的第一夹持装置、用于固定靶材的第二夹持装置及用于辅助靶材扩散的转动装置；所述第一夹持装置与所述第二夹持装置结构相同；本实用新型通过收卷装置的设置，便于收卷辊与放卷滚的拆卸安装，为工作人员节约体力和时间；设置了冷却装置，有效增加了镀层的厚度，大大提高了生产效率，降低了生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种宽幅薄膜高真空卷绕镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021103304.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-15
授权号 ：
CN213142178U
授权日 ：
2021-05-07
发明人 ：
何健
申请人 ：
东阳市禾川线业有限公司
申请人地址 ：
浙江省金华市东阳市六石街道樟村
代理机构 ：
杭州橙知果专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
贺龙萍
优先权 ：
CN202021103304.8
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2021-05-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
