反应炉及基材镀膜系统
授权
摘要

本申请公开了一种反应炉及基材镀膜系统,反应炉包括:第一炉体;位于所述第一炉体内的第二炉体,所述第二炉体的一端开设有与工艺气路相连通的进气口,另一端开设有与抽气管相连通的出气口,所述第一炉体与所述第二炉体之间为中间腔;设置于所述中间腔内的调温装置;设置于所述第二炉体内并用于承托基材的置物台;与所述置物台连接并用于驱动置物台升降和旋转的驱动装置,该方案相对于现有技术,置物台通过旋转可实现基材镀层的全方位覆盖,使镀层均匀,同时置物台能够升降,保证基材在上下方向的均匀覆盖。

基本信息
专利标题 :
反应炉及基材镀膜系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020914124.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-26
授权号 :
CN212894484U
授权日 :
2021-04-06
发明人 :
来华杭俞峰鲁天豪娄国明周海龙
申请人 :
浙江上方电子装备有限公司
申请人地址 :
浙江省绍兴市滨海新城畅和路7号
代理机构 :
杭州合信专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
沈自军
优先权 :
CN202020914124.1
主分类号 :
C04B41/87
IPC分类号 :
C04B41/87  B01D46/00  B01F13/10  B01F15/06  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C04
水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料
C04B
石灰;氧化镁;矿渣;水泥;其组合物,例如:砂浆、混凝土或类似的建筑材料;人造石;陶瓷;耐火材料;天然石的处理
C04B41/00
砂浆、混凝土、人造石或陶瓷的后处理;天然石的处理
C04B41/80
仅对陶瓷的
C04B41/81
涂覆或浸渍
C04B41/85
用无机材料
C04B41/87
陶瓷
法律状态
2021-04-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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