光伏电池镀膜反应炉
授权
摘要
本实用新型公开了一种光伏电池镀膜反应炉，包括加热炉体，加热炉体的一端具有炉口，炉口处设有法兰组，法兰组内设有多个进气管道，进气管道的一端从法兰组的周侧伸出、另一端伸入加热炉体内且连接有分流气管，分流气管沿着加热炉体的轴向设于加热炉体内，且各分流气管环绕加热炉体的中心轴阵列分布，分流气管朝向加热炉体中心轴的一侧设有多个分流孔，多个分流孔沿分流气管的轴向间隔分布。该光伏电池镀膜反应炉能够避免反应气体进入加热炉体后，造成加热炉体内沿轴向出现温差，影响加热炉体内温度的均匀性，导致镀膜厚度不均匀、工作效率降低的现象发生。
基本信息
专利标题 ：
光伏电池镀膜反应炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921867129.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-31
授权号 ：
CN210974871U
授权日 ：
2020-07-10
发明人 ：
李晔纯成秋云罗志敏张弥涛
申请人 ：
湖南红太阳光电科技有限公司
申请人地址 ：
湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号
代理机构 ：
湖南兆弘专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
戴玲
优先权 ：
CN201921867129.7
主分类号 ：
C23C16/50
IPC分类号 ：
C23C16/50 C23C16/455 H01L31/18
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/50
借助放电的
法律状态
2020-07-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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