光伏电池两面镀膜装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种光伏电池两面镀膜装置，包括上下料机、工作台机柜、主机柜和气源柜，工作台机柜承载硅片放置到主机柜中，主机柜至少包括若干个二合一管式PECVD反应腔，每个二合一管式PECVD反应腔至少配备镀氧化铝和氮化硅膜的气路并由气源柜供气，上下料机对每个二合一管式PECVD反应腔进行下料和上料，并在下料和上料之间完成硅片的翻面操作。本实用新型通过一台管式PECVD设备兼备电池正面和背面镀膜工艺，与上下料机配合，使一台设备实现光伏电池的双面镀膜，不需要在不同设备之间转移，减少物料转运工序，有效降低工序难度，提高生产效率和灵活性，降低硅片破损风险，提高成品率。
基本信息
专利标题 ：
光伏电池两面镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920930346.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-20
授权号 ：
CN210127271U
授权日 ：
2020-03-06
发明人 ：
陈庆敏吴晓松李丙科李建新
申请人 ：
无锡松煜科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区硕放街道工业园区五期振发二路16号
代理机构 ：
江苏漫修律师事务所
代理人 ：
周晓东
优先权 ：
CN201920930346.X
主分类号 ：
C23C16/455
IPC分类号 ：
C23C16/455 C23C16/458
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/455
向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法
法律状态
2020-03-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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