一种用于分区镀膜的装置和镀膜方法
公开
摘要
本发明提供一种用于分区镀膜的装置和镀膜方法，包括装夹工具和至少两个档板，所述装夹工具上开设有圆形通孔；所述装夹工具内部开设有两个对称于圆形通孔的螺纹孔，两个所述螺纹孔可拆卸连接有夹紧螺丝；所述装夹工具的上下表面均设置有对称于圆形通孔的两个定位梢钉，且上下表面均设置有对称于圆形通孔的两个定紧螺丝；所述档板上开设有与各待镀膜区域形状和位置相适配的镀膜孔。将待镀膜产品固定于圆形通孔上中，并将档板连接于装夹工具的上下表面，进而利用离子溅射镀膜机对档板进行蒸镀；通过更换档板可对各待镀膜区域进行不同方式的蒸镀，实现了复杂镀膜图形的分区镀膜。
基本信息
专利标题 ：
一种用于分区镀膜的装置和镀膜方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114606463A
申请号 ：
CN202210078818.X
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-01-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘朝旭许小强肖志全李斌
申请人 ：
武汉优光科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区高新二路388号武汉光谷国际生物医药企业加速器1.2期19幢1-5层
代理机构 ：
南京纵横知识产权代理有限公司
代理人 ：
祝蓉蓉
优先权 ：
CN202210078818.X
主分类号 ：
C23C14/04
IPC分类号 ：
C23C14/04 C23C14/50 C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/04
局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
