镀膜装置
授权
摘要
本实用新型提出一种镀膜装置，包括：承载机构，用于承载工件，所述工件用于与所述工件镀膜用的靶材相邻设置；调速机构，连接所述承载机构，所述调速机构用于调整所述承载机构的自转速度；驱动机构，用于驱动所述调速机构调整所述承载机构的所述自转速度。本实用新型可提高工件的镀膜的一致性。
基本信息
专利标题 ：
镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020444440.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-31
授权号 ：
CN213086095U
授权日 ：
2021-04-30
发明人 ：
李宝刚陈永新蔡镇洲贺威黄勇
申请人 ：
深圳市裕展精密科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市观澜富士康鸿观科技园B区厂房5栋C09栋4层、C07栋2层、C08栋3层4层、C04栋1层
代理机构 ：
深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司
代理人 ：
许春晓
优先权 ：
CN202020444440.7
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-04-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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