板式PECVD镀膜承载装置
授权
摘要
本实用新型公开一种板式PECVD镀膜承载装置，包括石墨框以及设于所述石墨框上的若干个第一挡钩和若干个第二挡钩，所述第一挡钩分布于所述石墨框的边缘位置，所述第二挡钩分布于所述石墨框的中部，其中所述第一挡钩上的硅片承载位置低于所述第二挡钩上的硅片承载位置。本实用新型提供的板式PECVD镀膜承载装置能够有效改善石墨框边缘位置镀膜的色差问题。
基本信息
专利标题 ：
板式PECVD镀膜承载装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020684632.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-29
授权号 ：
CN212128296U
授权日 ：
2020-12-11
发明人 ：
朱少杰王贵梅赵环
申请人 ：
晶澳太阳能有限公司
申请人地址 ：
河北省邢台市宁晋县晶龙大街
代理机构 ：
北京市万慧达律师事务所
代理人 ：
张一帆
优先权 ：
CN202020684632.5
主分类号 ：
C23C16/458
IPC分类号 ：
C23C16/458 C23C16/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2020-12-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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