研磨液提供装置
公开
摘要
本发明提供研磨液提供装置，其将多种不同的研磨液无误地提供至与各研磨液对应的容器。该研磨液提供装置能够对用于贮存研磨装置所使用的研磨液的容器选择性地提供多种不同的研磨液，其中，该研磨液提供装置包含：多个注出喷嘴，它们根据多种不同的研磨液而设置；传感器，其检测容器的被提供口是否配置于与多个注出喷嘴中的任意的注出喷嘴对应的位置；存储装置，其对从多种研磨液中选择的研磨液的信息进行存储；以及处理装置，其进行如下的控制：在与存储于存储装置的信息所示的研磨液对应的注出喷嘴与通过传感器检测到的容器的被提供口的位置相对应的情况下，从与存储于存储装置的信息所示的研磨液对应的注出喷嘴注出研磨液。
基本信息
专利标题 ：
研磨液提供装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114260819A
申请号 ：
CN202111041996.7
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2021-09-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
堀田秀儿金子智洋田中优也
申请人 ：
株式会社迪思科
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
于靖帅
优先权 ：
CN202111041996.7
主分类号 ：
B24B37/10
IPC分类号 ：
B24B37/10 B24B37/34 B24B49/00 B24B57/02 B24B37/005
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/04
适用于加工平面的
B24B37/07
以工件或研具的运动为特征
B24B37/10
用于单侧研磨
法律状态
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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