研磨头及研磨装置
公开
摘要
本发明提供一种在通过弹性膜形成的压力室内形成负压时能够防止弹性膜的两侧壁彼此的接触的研磨头。研磨头(7)具备：用于将工件(W)按压于研磨垫(2)的第一弹性膜(41)；配置为包围第一弹性膜(41)的挡环(33)；用于将挡环(33)按压于研磨垫(2)的第二弹性膜(50)；固定有第一弹性膜(41)的载体(35)；以及配置于通过第二弹性膜(50)形成的压力室(58)内，且将第二弹性膜(50)固定于载体(35)的安装部件(53)。安装部件(53)具有沿着第二弹性膜(50)的侧壁(50A、50B)朝向挡环(33)延伸的支撑部(54A、54B)。
基本信息
专利标题 ：
研磨头及研磨装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114434316A
申请号 ：
CN202111281272.X
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2021-11-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
加藤裕一锅谷治
申请人 ：
株式会社荏原制作所
申请人地址 ：
日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
代理机构 ：
上海华诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
肖华
优先权 ：
CN202111281272.X
主分类号 ：
B24B37/10
IPC分类号 ：
B24B37/10 B24B37/30 B24B37/34
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/04
适用于加工平面的
B24B37/07
以工件或研具的运动为特征
B24B37/10
用于单侧研磨
法律状态
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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