研磨头承载装置、研磨装置和研磨站
授权
摘要
本发明涉及研磨技术领域，公开一种研磨头承载装置、研磨装置和研磨站。该研磨头承载装置包括板面相对布置的安装板和承载板以及连接在安装板和承载板之间的弹性支撑结构，弹性支撑结构将安装板和承载板之间保持设定间距，其中，安装板包括用于安装能够提供偏心转动的驱动装置的驱动装置安装部；承载板包括用于安装背向安装板的研磨头的研磨头安装部，并且承载板设置有用于与驱动装置的转动轴上的偏心柱配合的偏心结构；其中，弹性支撑结构配置为允许承载板能够相对于安装板摆动。该研磨头承载装置能够在提升研磨效果的同时，提升研磨效率，降低研磨成本。
基本信息
专利标题 ：
研磨头承载装置、研磨装置和研磨站
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114029855A
申请号 ：
CN202210023341.5
公开（公告）日 ：
2022-02-11
申请日 ：
2022-01-10
授权号 ：
CN114029855B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
刘晓刚朱勇刘培培方昕
申请人 ：
合肥微睿光电科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市新站区九顶山路以东、珠城路以南
代理机构 ：
安徽知问律师事务所
代理人 ：
王亚军
优先权 ：
CN202210023341.5
主分类号 ：
B24B37/12
IPC分类号 ：
B24B37/12 B24B37/34 B24B57/02 B24B45/00 B24B27/00 B25J11/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/11
研具
B24B37/12
用于加工平面的研磨片
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2022-03-01 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 37/12
申请日 : 20220110
申请日 : 20220110
2022-02-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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