研磨装置
授权
摘要
本实用新型提供一种研磨装置，其课题在于能够减少误检测并能够精度良好地检测滑出。对晶片从研磨头的飞出(滑出)进行检测的滑出传感器是静电电容型的接近传感器，设置于研磨头的外侧且设置于与研磨头的外周面相邻的位置中的平台的旋转方向下游侧。
基本信息
专利标题 ：
研磨装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021770773.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-21
授权号 ：
CN212470970U
授权日 ：
2021-02-05
发明人 ：
松本隆德桑原充中田佳博
申请人 ：
株式会社V技术
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
刘文海
优先权 ：
CN202021770773.5
主分类号 ：
B24B27/00
IPC分类号 ：
B24B27/00 B24B37/10 B24B37/30 B24B37/34 B24B49/10 B24B57/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B27/00
其他磨床或装置
法律状态
2021-02-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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