具有经改进干燥特性的旋转漂洗干燥机
公开
摘要
本申请案的实施例涉及一种具有经改进干燥特性的旋转漂洗干燥机，具有：可转动支撑件，其用于支撑该衬底；可转动部件，其在该可转动支撑件上方位于该壳体内，该可转动部件具有连续下部表面；及驱动器，其用于转动该可转动部件。在晶片的清洗期间，从晶片上溅起的液体将撞击该可转动部件而非该壳体的上部壁，且可在该可转动部件上形成液滴。在清洗液体的流动已停止之后，该驱动器可以高速度转动可转动部件，这倾向于通过离心力而将液体液滴从该可转动部件甩掉。液体接着沿该壳体的壁流下、远离该晶片，使得大大降低经清洗晶片受污染的机会。该可转动部件与该可转动支撑件可整体地形成且一起转动。替代地，其可为单独部件。
基本信息
专利标题 ：
具有经改进干燥特性的旋转漂洗干燥机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114512420A
申请号 ：
CN202111085987.8
公开（公告）日 ：
2022-05-17
申请日 ：
2021-09-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
特雷弗·托马斯马丁·艾尔丝
申请人 ：
SPTS科技有限公司
申请人地址 ：
英国新港
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
章蕾
优先权 ：
CN202111085987.8
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 B08B3/02 B08B13/00 F26B5/08 F26B11/18 F26B25/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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