组合导气石墨电极及无内表面气泡群石英坩埚制备方法
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摘要
一种组合导气石墨电极，包括上段石墨电极、下段石墨电极，所述上段石墨电极的下端设有柱形连接凸起，所述下段石墨电极的上端设有柱形连接凹槽，在柱形连接凸起的外侧设有外螺纹，在柱形连接凹槽的内侧设有内螺纹，所述柱形连接凸起与柱形连接凹槽螺纹连接，所述上段石墨电极的上端设有轴向气孔，所述轴向气孔不贯通上段石墨电极，所述下段石墨电极的密度大于1.72g/cm3，所述上段石墨电极的贯通气孔率为20～35%，采用两段组合式石墨电极，上段石墨电极采用高纯度高透气性石墨电极，下段石墨电极采用高纯度高致密度的石墨电极，降低了因下段石墨电极更换频次高导致的成本高的问题，还提供了一种无内表面气泡群石英坩埚制备方法。
基本信息
专利标题 ：
组合导气石墨电极及无内表面气泡群石英坩埚制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113747625A
申请号 ：
CN202111087356.X
公开（公告）日 ：
2021-12-03
申请日 ：
2021-09-16
授权号 ：
CN113747625B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
王建军何玉鹏邓红李卫李常国
申请人 ：
宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
申请人地址 ：
宁夏回族自治区银川市经济技术开发区光明西路23号
代理机构 ：
宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙彦虎
优先权 ：
CN202111087356.X
主分类号 ：
H05B7/085
IPC分类号 ：
H05B7/085 C03B20/00
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2021-12-21 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05B 7/085
申请日 : 20210916
申请日 : 20210916
2021-12-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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