用测量仪器监视过程设备中测量的被测变量的方法
实质审查的生效
摘要

本发明涉及用测量仪器监视过程设备中测量的被测变量的方法。被测变量在过程期间随时间变化且在重复执行预定动态过程期间用在过程设备上使用的一组测量仪器连续测量,期间连续获取测量数据,包括被测变量的测量值、在训练时段测量的训练数据和训练时段后测量的监视数据,基于测量数据连续确定矢量,其矢量分量包括基于测量数据为一系列k个连续时间点确定的被测变量的测量值的变化率,每个系列的时间点覆盖预定持续时间的时间窗,且连续矢量的时间窗相对于彼此移动预定时间差,检测并以参考簇的形式存储基于训练数据确定的矢量,执行监视方法:将基于监视数据确定的矢量与参考簇比较,当至少一个矢量在参考簇外时确定异常并使异常信息可用。

基本信息
专利标题 :
用测量仪器监视过程设备中测量的被测变量的方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114545107A
申请号 :
CN202111196440.5
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2021-10-14
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
阿列克谢·马利诺夫斯基马库斯·尼克弗朗索瓦·克莱因
申请人 :
恩德莱斯和豪斯集团服务股份公司
申请人地址 :
瑞士赖纳赫
代理机构 :
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 :
穆森
优先权 :
CN202111196440.5
主分类号 :
G01R31/00
IPC分类号 :
G01R31/00  G01R35/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/00
电性能的测试装置;电故障的探测装置;以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置;在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L21/66;线路传输系统的测试入H04B3/46)
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 31/00
申请日 : 20211014
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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